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\begin{document}
  
    \begin{tabular}{cd{0}@{\,$\pm$\,}d{0}d{1}@{\,$\pm$\,}d{1}d{2}@{\,$\pm$\,}d{2}}
      \hline
      $\tau$ & \multicolumn{2}{c}{$R=9\%$} & \multicolumn{2}{c}{$R=10^{-4}$} & \multicolumn{2}{c}{$R=10^{-5}$} \\
      \hline
      100 $\rm \,fs$ \xspace & 140 & 70 & 0.2 & 0.1 & 0.02 & 0.01 \\
      150 $\rm \,fs$ \xspace & 600 & 200 & 0.7 & 0.2 & 0.07 & 0.02 \\
      250 $\rm \,fs$ \xspace & 2200 & 600 & 2.4 & 0.7 & 0.24 & 0.07 \\
      333 $\rm \,fs$ \xspace & 3600 & 900 & 4.0 & 1.0 & 0.40 & 0.10 \\
      400 $\rm \,fs$ \xspace & 4800 & 1200 & 5.3 & 1.4 & 0.53 & 0.14 \\
      \hline
    \end{tabular}
  
  
\end{document}
